新华网沈阳5月1日电（记者于也童）计划总投资5亿元的中科芯微半导体机器人研发生产基地项目4月30日在沈阳启动。记者了解到，这一项目将打造集研发、生产、销售为一体的半导体机器人研发生产基地，填补相关领域国产替代市场空白。

　　据悉，中科芯微半导体机器人研发生产基地项目占地面积约6.9万平方米，将建设数字化智能制造生产厂房、半导体核心设备实验室、研发综合楼等设施。项目竣工投产后，可实现年产半导体机器人1000台套，预计新增产值10亿元。

图为项目启动现场。铁西区委宣传部供图

　　素珀电子科技（上海）有限公司董事长、中科芯微智能装备（沈阳）有限公司董事长朱玉东表示，企业自落户沈阳经开区、中德园，感受到当地营商环境不断升温，对企业的帮扶和支撑越来越有力。

　　“希望新的研发生产基地建成后，能依托本地产业链、供应链，吸引更多上下游企业加入，共同形成产业链聚集发展的良好态势。”朱玉东说。

图为项目启动现场。铁西区委宣传部供图

　　据悉，中科芯微智能装备（沈阳）有限公司是素珀电子科技（上海）有限公司投资创立的高新技术企业，主要专注于半导体制造核心装备的自主研发与产业化。

　　素珀电子于2020年6月“落子”沈阳，在沈阳经开区设立了研发生产基地——中科芯微，随后逐步构建起覆盖芯片制造前道工艺全制程的设备体系。

　　五年来，中科芯微年均推出5-10项创新产品，累计完成十余项重大科技攻关项目，成功开发出20余种高精度半导体洁净机器人系列产品，在精密传动系统、真空环境兼容性、纳米级定位精度等“卡脖子”领域取得研发进展。

　　作为项目服务保障方代表，中德（沈阳）高端装备制造产业园项目（企业）服务中心主任王大力表示：“项目是区域发展的生命线，我们一直努力为企业提供全链条‘保姆式’服务。”

　　今年以来，沈阳经开区、中德园将整体项目服务模式从“店小二”升级为“快递员”，推动服务理念、机制、效能系统性变革，用“快递员”式的主动作为、上门服务，力争让企业发展“无顾虑、无烦恼”。